多级干式螺杆真空泵的工艺技术主要包括以下几个方面：
螺杆设计：多级干式螺杆真空泵的螺杆设计是其核心部分，需要考虑螺杆的形状、尺寸、材料等因素。不同的螺杆设计可以影响泵的抽气效率、压力和功耗等性能参数。
制造工艺：多级干式螺杆真空泵的制造工艺需要保证螺杆的精度和一致性，以确保泵的性能稳定。制造过程中需要采用高精度的加工设备和工艺，如数控机床、激光切割等。
装配工艺：多级干式螺杆真空泵的装配工艺需要保证各部件的配合精度和稳定性，以确保泵的正常运行。装配过程中需要采用高精度的测量设备和工艺，如激光干涉仪、光学显微镜等。
调试工艺：多级干式螺杆真空泵的调试工艺需要对其性能进行全面的检测和调整，以确保泵的性能达到设计要求。调试过程中需要采用专业的测试设备和工具，如真空计、压力计等。
维护工艺：多级干式螺杆真空泵的维护工艺需要定期对泵进行清洗、润滑和检查，以确保泵的正常运行和使用寿命。维护过程中需要采用专业的维护工具和材料，如润滑油、清洗剂等。
总的来说，多级干式螺杆真空泵的工艺技术是一个综合性的过程，需要从设计、制造、装配、调试到维护等多个方面进行全面的考虑和实施。