多级罗茨真空泵的内部结构主要由泵体、干式气密密封、叶轮、电机、冷却系统、控制系统等组成。泵体内部采用干式气密密封，杜绝了油污染和油气反应，同时可以避免气体中的水分、氧气和杂质对泵的腐蚀，确保泵的高可靠性和长寿命。叶轮采用多级结构，能够有效地提高泵速和抽气效率，同时减小了泵体的尺寸和重量。
此外，多级罗茨真空泵还配备有冷却系统和控制系统。冷却系统用于控制泵体温度，防止过热，保证泵的正常运行。控制系统则负责监控和调节泵的工作状态，实现自动化控制和操作简便。
总之，多级罗茨真空泵的内部结构紧凑、合理，各部分之间相互协作，确保了泵的高效、稳定和可靠运行。