干式螺杆真空泵的拆卸步骤如下：
关闭进口和出口的阀门，关闭电源，堵上排气口，等待泵冷却并确保泵内的压力达到零。
将真空泵与连接管件分离，卸下吸气盘上的螺丝，拆下吸气盘，并小心取出其下方的密封垫片。
拆卸螺杆部分，先拆掉紧固螺钉，再取出弹簧，将同心径向滑轴拆下后，即可将螺杆拿出。
拆下螺杆后，可以看到主机体内部，此时应对除尘器和冷却器进行清洁，同时检查密封面是否存在磨损、松动等情况。
请注意，在拆卸过程中，务必注意安全，切勿直接用手碰触泵的运转部分，避免受伤。同时，拆卸下来的零件应妥善保管，避免碰伤，确保重装时能够正常使用。完成拆卸后，如需再次使用泵，应按照原有的顺序进行组装，并确保各部件安装正确、紧固可靠。
此外，不同型号的干式螺杆真空泵可能具有不同的结构，因此在实际拆卸过程中，建议参考具体的设备说明书或咨询专业维修人员，以确保操作正确无误。