1. **干式螺杆真空泵**
- 干式螺杆真空泵是通过一对螺杆转子在泵腔中作同步高速反向旋转而产生吸气和排气作用。两个螺杆转子型线互不接触，存在一定的间隙，气体从进气口进入泵腔后，被封闭在由螺杆转子与泵体形成的密封腔室中，随着转子的旋转，密封腔室不断向排气口移动，从而实现气体的压缩和排出。
- 例如，在半导体制造过程中，干式螺杆真空泵可以有效地处理工艺过程中产生的各种气体，因为其工作原理能够适应不同种类气体的抽气需求，而且不会对工艺环境造成污染。
2. **油封式旋片真空泵**
- 油封式旋片真空泵主要依靠偏心安装在泵腔内的转子，转子上的旋片在弹簧力的作用下与泵腔内壁紧密接触。当转子旋转时，旋片在泵腔中周期性地伸缩，将泵腔分割成不同的容积区域，从而实现吸气、压缩和排气的过程。在这个过程中，泵腔内需要注入润滑油来密封、润滑和冷却。
- 例如，在一些简单的真空包装应用中，油封式旋片真空泵可以满足基本的真空需求，但由于有油的存在，对于一些对油污染敏感的应用场景就不适用。
3. **水环真空泵**
- 水环真空泵的工作原理是在泵体中偏心安装叶轮，当叶轮旋转时，在泵体内注入的水会形成一个水环。水环与叶轮轮毂形成月牙形空间，叶轮叶片将这个空间分隔成若干个小腔室。随着叶轮的旋转，这些小腔室的容积不断变化，从而实现吸气、压缩和排气过程。
- 例如，在煤矿井下排水时，水环真空泵可以利用矿井中的水作为工作介质，同时实现排水和建立一定的真空度，但它对工作环境中的水质有一定要求。